分辨率是掃描電鏡樣品臺的主要性能指標,它是指在圖像上能分辨出的兩個亮點之間的小問距c影響掃描電鏡分辨率的主要囚素一是掃描電子束斑直徑,一般認為掃捕電鏡能分辨的小間距不可能小于掃描電子束斑直徑,它主要取決于電子光學(xué)系統(tǒng),尤其是電子槍的類型和性能、束流大小、末級聚光鏡光闌孔徑大小及其污染程度等,高分辨率的掃描電子顯微鏡都采用場發(fā)射電子槍,囚其束斑直徑小,束流密度高;另一個囚素是人射電子束在樣品中的擴展效應(yīng),高能人射電子在樣品內(nèi)經(jīng)過多次散射后,整體失去F方向性,在固體內(nèi)部形成漫散射,漫散射作用區(qū)的形狀取決于原子序數(shù),漫散射作用lx的體積大小取決于入射電子的能量。要得到高的分辨率,人射束在樣品內(nèi)部的擴展要小,探頭所收集到的工次電子所來自的面積要小。當以二次電子為調(diào)制信號時,二次電子主要來自兩個方面,即由人射電子直接激發(fā)的二次電子(成像信號)和由背散射電子、X射線光子射出表面過程中間接激發(fā)的二次電子(本底噪音)。為減少本底噪音,通常采用較低的入射能量,減少背散射電子和X射線光子的激發(fā)所產(chǎn)生的二次電子。理想情況下,二次電子成像的分辨率約等于束斑直徑。背散射電子的能量比較大,來自于樣品內(nèi)較大的區(qū)域,通常背散射電子成像的分辨率要比二次電子低。